Slowing down and thermalization of sputtered particle fluxes: Energy distributions

  1. Gras-Marti, A.
  2. Valles-Abarca, J.A.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 1983

Volumen: 54

Número: 2

Páginas: 1071-1075

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.332113 GOOGLE SCHOLAR

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