Slowing down and thermalization of sputtered particle fluxes: Energy distributions

  1. Gras-Marti, A.
  2. Valles-Abarca, J.A.
Aldizkaria:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Argitalpen urtea: 1983

Alea: 54

Zenbakia: 2

Orrialdeak: 1071-1075

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.332113 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus