Slowing down and thermalization of sputtered particle fluxes: Energy distributions

  1. Gras-Marti, A.
  2. Valles-Abarca, J.A.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Any de publicació: 1983

Volum: 54

Número: 2

Pàgines: 1071-1075

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.332113 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus