Slowing down and thermalization of sputtered particle fluxes: Energy distributions
ISSN: 0021-8979
Ano de publicación: 1983
Volume: 54
Número: 2
Páxinas: 1071-1075
Tipo: Artigo
ISSN: 0021-8979
Ano de publicación: 1983
Volume: 54
Número: 2
Páxinas: 1071-1075
Tipo: Artigo