Slowing down and thermalization of sputtered particle fluxes: Energy distributions

  1. Gras-Marti, A.
  2. Valles-Abarca, J.A.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 1983

Ausgabe: 54

Nummer: 2

Seiten: 1071-1075

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.332113 GOOGLE SCHOLAR

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