Alacant: Modeling of glow discharge sputtering systems
ISSN: 0010-4655
Año de publicación: 1988
Volumen: 51
Número: 3
Páginas: 413-422
Tipo: Artículo
ISSN: 0010-4655
Año de publicación: 1988
Volumen: 51
Número: 3
Páginas: 413-422
Tipo: Artículo