Alacant: Modeling of glow discharge sputtering systems

  1. Abril, I.
Revista:
Computer Physics Communications

ISSN: 0010-4655

Ano de publicación: 1988

Volume: 51

Número: 3

Páxinas: 413-422

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0010-4655(88)90154-3 GOOGLE SCHOLAR