Alacant: Modeling of glow discharge sputtering systems
ISSN: 0010-4655
Ano de publicación: 1988
Volume: 51
Número: 3
Páxinas: 413-422
Tipo: Artigo
ISSN: 0010-4655
Ano de publicación: 1988
Volume: 51
Número: 3
Páxinas: 413-422
Tipo: Artigo