Alacant: Modeling of glow discharge sputtering systems

  1. Abril, I.
Aldizkaria:
Computer Physics Communications

ISSN: 0010-4655

Argitalpen urtea: 1988

Alea: 51

Zenbakia: 3

Orrialdeak: 413-422

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0010-4655(88)90154-3 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus