Alacant: Modeling of glow discharge sputtering systems

  1. Abril, I.
Zeitschrift:
Computer Physics Communications

ISSN: 0010-4655

Datum der Publikation: 1988

Ausgabe: 51

Nummer: 3

Seiten: 413-422

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0010-4655(88)90154-3 GOOGLE SCHOLAR
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