Alacant: Modeling of glow discharge sputtering systems
ISSN: 0010-4655
Any de publicació: 1988
Volum: 51
Número: 3
Pàgines: 413-422
Tipus: Article
ISSN: 0010-4655
Any de publicació: 1988
Volum: 51
Número: 3
Pàgines: 413-422
Tipus: Article