Alacant: Modeling of glow discharge sputtering systems

  1. Abril, I.
Revue:
Computer Physics Communications

ISSN: 0010-4655

Année de publication: 1988

Volumen: 51

Número: 3

Pages: 413-422

Type: Article

DOI: 10.1016/0010-4655(88)90154-3 GOOGLE SCHOLAR
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