Damage evolution and surface defect segregation in low-energy ion-implanted silicon
- Bedrossian, P.J.
- Caturla, M.-J.
- Diaz De La Rubia, T.
ISSN: 0003-6951
Ano de publicación: 1997
Volume: 70
Número: 2
Páxinas: 176-178
Tipo: Artigo
ISSN: 0003-6951
Ano de publicación: 1997
Volume: 70
Número: 2
Páxinas: 176-178
Tipo: Artigo