Damage evolution and surface defect segregation in low-energy ion-implanted silicon

  1. Bedrossian, P.J.
  2. Caturla, M.-J.
  3. Diaz De La Rubia, T.
Zeitschrift:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 70

Nummer: 2

Seiten: 176-178

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.118349 GOOGLE SCHOLAR
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