Damage evolution and surface defect segregation in low-energy ion-implanted silicon

  1. Bedrossian, P.J.
  2. Caturla, M.-J.
  3. Diaz De La Rubia, T.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Any de publicació: 1997

Volum: 70

Número: 2

Pàgines: 176-178

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.118349 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus