Damage evolution and surface defect segregation in low-energy ion-implanted silicon

  1. Bedrossian, P.J.
  2. Caturla, M.-J.
  3. Diaz De La Rubia, T.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 1997

Volumen: 70

Número: 2

Páginas: 176-178

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.118349 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus