Damage evolution and surface defect segregation in low-energy ion-implanted silicon
- Bedrossian, P.J.
- Caturla, M.-J.
- Diaz De La Rubia, T.
ISSN: 0003-6951
Argitalpen urtea: 1997
Alea: 70
Zenbakia: 2
Orrialdeak: 176-178
Mota: Artikulua
ISSN: 0003-6951
Argitalpen urtea: 1997
Alea: 70
Zenbakia: 2
Orrialdeak: 176-178
Mota: Artikulua