Modelling of glow discharge sputtering systems: Theory of the cathode fall region
ISSN: 0040-6090
Ano de publicación: 1985
Volume: 124
Número: 1
Páxinas: 59-65
Tipo: Artigo
ISSN: 0040-6090
Ano de publicación: 1985
Volume: 124
Número: 1
Páxinas: 59-65
Tipo: Artigo