Modelling of glow discharge sputtering systems: Theory of the cathode fall region

  1. Gras-Marti, A.
  2. Abril, I.
  3. Valles-Abarca, J.A.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 1985

Volum: 124

Número: 1

Pàgines: 59-65

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0040-6090(85)90029-X GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus