Modelling of glow discharge sputtering systems: Theory of the cathode fall region

  1. Gras-Marti, A.
  2. Abril, I.
  3. Valles-Abarca, J.A.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 1985

Ausgabe: 124

Nummer: 1

Seiten: 59-65

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0040-6090(85)90029-X GOOGLE SCHOLAR
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