Modelling of glow discharge sputtering systems: Theory of the cathode fall region

  1. Gras-Marti, A.
  2. Abril, I.
  3. Valles-Abarca, J.A.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 1985

Alea: 124

Zenbakia: 1

Orrialdeak: 59-65

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0040-6090(85)90029-X GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus