Defect diffusion during annealing of low-energy ion-implanted silicon
- Bedrossian, P.J.
- Caturla, M.-J.
- De La Rubia, T.Diaz
Aktak:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Argitalpen urtea: 1997
Alea: 439
Orrialdeak: 53-58
Mota: Biltzar ekarpena