Modeling of ion implantation and diffusion in Si
- Caturla, M.-J.
- Diaz De La Rubia, T.
- Bedrossian, P.J.
ISSN: 1662-9752, 0255-5476
Année de publication: 1997
Volumen: 248-249
Pages: 41-48
Type: Article
Collection de livres:
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