Modeling of ion implantation and diffusion in Si
- Caturla, M.-J.
- Diaz De La Rubia, T.
- Bedrossian, P.J.
ISSN: 1662-9752, 0255-5476
Argitalpen urtea: 1997
Alea: 248-249
Orrialdeak: 41-48
Mota: Artikulua
Liburu bilduma:
Materials Science Forum