Modeling of ion implantation and diffusion in Si
- Caturla, M.-J.
- Diaz De La Rubia, T.
- Bedrossian, P.J.
ISSN: 1662-9752, 0255-5476
Any de publicació: 1997
Volum: 248-249
Pàgines: 41-48
Tipus: Article
Col·lecció de llibres:
Materials Science Forum