Application of dichromated gelatin for dry developed lithographic techniques on GaAs

  1. Villalvilla, J.M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Año de publicación: 1999

Volumen: 17

Número: 3

Páginas: 1085-1086

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.590698 GOOGLE SCHOLAR
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