Application of dichromated gelatin for dry developed lithographic techniques on GaAs

  1. Villalvilla, J.M.
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 17

Nummer: 3

Seiten: 1085-1086

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.590698 GOOGLE SCHOLAR
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