Application of dichromated gelatin for dry developed lithographic techniques on GaAs

  1. Villalvilla, J.M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Any de publicació: 1999

Volum: 17

Número: 3

Pàgines: 1085-1086

Tipus: Article

DOI: 10.1116/1.590698 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus