Radial profile of energetic particles bombarding the substrate in a glow discharge
ISSN: 0734-2101
Ano de publicación: 1999
Volume: 17
Número: 2
Páxinas: 528-534
Tipo: Artigo
ISSN: 0734-2101
Ano de publicación: 1999
Volume: 17
Número: 2
Páxinas: 528-534
Tipo: Artigo