Radial profile of energetic particles bombarding the substrate in a glow discharge
ISSN: 0734-2101
Any de publicació: 1999
Volum: 17
Número: 2
Pàgines: 528-534
Tipus: Article
ISSN: 0734-2101
Any de publicació: 1999
Volum: 17
Número: 2
Pàgines: 528-534
Tipus: Article