Radial profile of energetic particles bombarding the substrate in a glow discharge

  1. Moreno-Marín, J.C.
  2. Abril, I.
  3. Garcia-Molina, R.
Aldizkaria:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Argitalpen urtea: 1999

Alea: 17

Zenbakia: 2

Orrialdeak: 528-534

Mota: Artikulua

DOI: 10.1116/1.581614 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus