Radial profile of energetic particles bombarding the substrate in a glow discharge
ISSN: 0734-2101
Datum der Publikation: 1999
Ausgabe: 17
Nummer: 2
Seiten: 528-534
Art: Artikel
ISSN: 0734-2101
Datum der Publikation: 1999
Ausgabe: 17
Nummer: 2
Seiten: 528-534
Art: Artikel