Distortion of depth profiles during ion bombardment II. Mixing mechanisms

  1. Gras-Marti, A.
  2. Sigmund, P.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods

ISSN: 0029-554X

Año de publicación: 1981

Volumen: 180

Número: 1

Páginas: 211-219

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0029-554X(81)90032-X GOOGLE SCHOLAR