Distortion of depth profiles during ion bombardment II. Mixing mechanisms

  1. Gras-Marti, A.
  2. Sigmund, P.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods

ISSN: 0029-554X

Ano de publicación: 1981

Volume: 180

Número: 1

Páxinas: 211-219

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0029-554X(81)90032-X GOOGLE SCHOLAR
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