Distortion of depth profiles during ion bombardment II. Mixing mechanisms

  1. Gras-Marti, A.
  2. Sigmund, P.
Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods

ISSN: 0029-554X

Datum der Publikation: 1981

Ausgabe: 180

Nummer: 1

Seiten: 211-219

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0029-554X(81)90032-X GOOGLE SCHOLAR
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