Sputtering yield calculation for binary target
- Jimenez-Rodriguez, J.J.
- Rodriguez-Vidal, M.
- Valles-Abarca, J.A.
ISSN: 0033-7579
Año de publicación: 1979
Volumen: 41
Número: 3
Páginas: 165-173
Tipo: Artículo
ISSN: 0033-7579
Año de publicación: 1979
Volumen: 41
Número: 3
Páginas: 165-173
Tipo: Artículo