Sputtering yield calculation for binary target

  1. Jimenez-Rodriguez, J.J.
  2. Rodriguez-Vidal, M.
  3. Valles-Abarca, J.A.
Revista:
Radiation effects

ISSN: 0033-7579

Any de publicació: 1979

Volum: 41

Número: 3

Pàgines: 165-173

Tipus: Article

DOI: 10.1080/00337577908236961 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible