Sputtering yield calculation for binary target
- Jimenez-Rodriguez, J.J.
- Rodriguez-Vidal, M.
- Valles-Abarca, J.A.
ISSN: 0033-7579
Any de publicació: 1979
Volum: 41
Número: 3
Pàgines: 165-173
Tipus: Article
ISSN: 0033-7579
Any de publicació: 1979
Volum: 41
Número: 3
Pàgines: 165-173
Tipus: Article