Sputtering yield calculation for binary target
- Jimenez-Rodriguez, J.J.
- Rodriguez-Vidal, M.
- Valles-Abarca, J.A.
ISSN: 0033-7579
Ano de publicación: 1979
Volume: 41
Número: 3
Páxinas: 165-173
Tipo: Artigo
ISSN: 0033-7579
Ano de publicación: 1979
Volume: 41
Número: 3
Páxinas: 165-173
Tipo: Artigo