Sputtering yield calculation for binary target

  1. Jimenez-Rodriguez, J.J.
  2. Rodriguez-Vidal, M.
  3. Valles-Abarca, J.A.
Aldizkaria:
Radiation effects

ISSN: 0033-7579

Argitalpen urtea: 1979

Alea: 41

Zenbakia: 3

Orrialdeak: 165-173

Mota: Artikulua

DOI: 10.1080/00337577908236961 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak