Sputtering yield calculation for binary target
- Jimenez-Rodriguez, J.J.
- Rodriguez-Vidal, M.
- Valles-Abarca, J.A.
ISSN: 0033-7579
Datum der Publikation: 1979
Ausgabe: 41
Nummer: 3
Seiten: 165-173
Art: Artikel
Zeitschrift:
Radiation effects
