The influence of pressure on the operation of glow-discharge sputtering systems

  1. Abril, I.
  2. Gras-Marti, A.
  3. Valles-Abarca, J.
Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 1987

Volumen: 37

Número: 5-6

Páginas: 391-394

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0042-207X(87)90318-6 GOOGLE SCHOLAR
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