The influence of pressure on the operation of glow-discharge sputtering systems

  1. Abril, I.
  2. Gras-Marti, A.
  3. Valles-Abarca, J.
Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Any de publicació: 1987

Volum: 37

Número: 5-6

Pàgines: 391-394

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0042-207X(87)90318-6 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus