The influence of pressure on the operation of glow-discharge sputtering systems

  1. Abril, I.
  2. Gras-Marti, A.
  3. Valles-Abarca, J.
Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 1987

Ausgabe: 37

Nummer: 5-6

Seiten: 391-394

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0042-207X(87)90318-6 GOOGLE SCHOLAR
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