The influence of pressure on the operation of glow-discharge sputtering systems

  1. Abril, I.
  2. Gras-Marti, A.
  3. Valles-Abarca, J.
Aldizkaria:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Argitalpen urtea: 1987

Alea: 37

Zenbakia: 5-6

Orrialdeak: 391-394

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0042-207X(87)90318-6 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus