Defect diffusion during annealing of low-energy ion-implanted silicon
- Bedrossian, P.J.
- Caturla, M.-J.
- Diaz de la Rubia, T.
Aktak:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Argitalpen urtea: 1996
Alea: 438
Orrialdeak: 715-720
Mota: Biltzar ekarpena