Gallium arsenide etching using ion beams from hydrogen/methane mixtures

  1. Villalvilla, J.M.
  2. Santos, C.
  3. Vallés-Abarca, J.A.
Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 1996

Volumen: 47

Número: 1

Páginas: 39-44

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0042-207X(95)00194-8 GOOGLE SCHOLAR

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