Gallium arsenide etching using ion beams from hydrogen/methane mixtures

  1. Villalvilla, J.M.
  2. Santos, C.
  3. Vallés-Abarca, J.A.
Aldizkaria:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Argitalpen urtea: 1996

Alea: 47

Zenbakia: 1

Orrialdeak: 39-44

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0042-207X(95)00194-8 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus