Gallium arsenide etching using ion beams from hydrogen/methane mixtures

  1. Villalvilla, J.M.
  2. Santos, C.
  3. Vallés-Abarca, J.A.
Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 1996

Ausgabe: 47

Nummer: 1

Seiten: 39-44

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0042-207X(95)00194-8 GOOGLE SCHOLAR
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