Gallium arsenide etching using ion beams from hydrogen/methane mixtures

  1. Villalvilla, J.M.
  2. Santos, C.
  3. Vallés-Abarca, J.A.
Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Any de publicació: 1996

Volum: 47

Número: 1

Pàgines: 39-44

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0042-207X(95)00194-8 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus