RF magnetron sputtering of gallium nitride (GaN) on sapphire substrate

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Zeitschrift:
UPB Scientific Bulletin, Series B: Chemistry and Materials Science

ISSN: 2286-3680,  1454-2331

Datum der Publikation: 2019

Ausgabe: 81

Nummer: 3

Seiten: 11-18

Art: Artikel

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