Evolution towards thermalization, and diffusion, of sputtered particle fluxes: Spatial profiles

  1. Valles-Abarca, J.A.
  2. Gras-Marti, A.
Revue:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Année de publication: 1984

Volumen: 55

Número: 5

Pages: 1370-1378

Type: Article

DOI: 10.1063/1.333227 GOOGLE SCHOLAR

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